ITOガラスのエッチング(Etching)について

１ マスキング(Masking)方法 ･･･ 溶解させたくない部分を保護する。

 　※ ITOガラスの導電面のチェック

・ デジタルマルチメータの「抵抗値」-サウンドを選択する。  ・ 端子の先をガラスに当て、通電するか確かめる。  ・ ITO面を傷つけないように気をつける。

 (1) テープ法
  ①ITOガラスのITO蒸着面にテープを貼る。
     

  ②デザインに沿ってカッターで切る。
    

  ③不要な部分をはがす。
   


 (2) ペン描き法
  ①ITO蒸着面にペイントマーカーでデザインを描く。
    

  ②よく乾かす。　･･･乾いていないと剥がれやすい

　 エッチング後はacetone(アセトン)でマーカーを溶かして除去する。

２ 溶解方法　･･･ ITOを溶かす

	①ITO面にマスキングする
	②溶解液で溶かす
	③マスキング部以外が溶ける
	④マスキングを除去する

 (1)「亜鉛粉＋塩酸」法
　ITO面にZn(亜鉛)粉末を振りかけ、そこに 1mol/L
　HCl(塩酸)をかける。　Zn ＋ ２HCl → ZnCl₂ ＋ H₂
　の反応でZnは溶けるが、その時発生する H₂(水素)
　によりITOが還元される～O(酸素)が奪われる。
　還元された　In(インジウム)とSn(スズ：Tin)が
　HClによって溶かされる。
　◎比較的安全、すぐ反応する。
　△制御がしにくい、
　△Znの粒径が大きいとうまく反応しない。

 (2)「王水」法
　HCl(塩酸)：HNO₃(硝酸)＝３：１で混合した
　酸化力の強い酸で溶解する方法。
　◎コントロールしやすい、
　◎工業的にはこの方法が多い。
　△Cl₂(塩素)ガスが発生、危険。